RHESCA超薄膜刮痕試驗機

紅: 施加的載荷     藍: Y軸速度信號     黑: Z軸加速度信號

用R15μm的鑽石觸針，以50μm微振動寬度和200mN/40s加壓條件的測試結果。當施加約180 mN的載荷時，Z軸加速度信號迅速反應，在顯微鏡的觀察下證實基材暴露。

Z軸驅動機構

※負載施加方向

驅動範圍

20mm（+ 手動30mm粗調）

驅動控制（測量期间）

負載控制的反饋

驅動速度（準備時）

1mm/s

X軸驅動機構

※刮痕方向

驅動範圍

20mm

驅動控制（測量期间）

0~20μm/s

驅動速度（準備時）

1mm/s

XY軸驅動平台

驅動系统

帶測微計的手動驅動

驅動範圍

±6.5mm

震動装置

驅動範圍

45Hz

震動幅度

0・5・10・20・40・50・80・100μm

負載感應機制

應用負載範圍

Max1500mN

精度

0.3mN

允許過載

4500mN

檢測單元

水平方向

檢測訊號     速度訊號

頻率範圍     0.2Hz ～10kHz

垂直方向

檢測訊號     加速訊號

※RHESCA的特殊技術

頻率範圍　 　20Hz~10kHz

探針部分

探針/ 尖端形状

鑽石

R5・10・15・25・50・100μm

藍寶石

R250・500μm

測量後的觀察顯微鏡

放大倍率

50・100・500倍

光源

LED照明

加熱台(選配)

加热範圍

RT~200℃Max

溫度精度

±2℃

溫度感应器

K 熱電偶

連接方式

USB

尺寸及重量

W540 x D520 x 530mm(37kg)

包括顯微鏡

電源

AC100~240V

不包括加熱器等特殊規格的零件