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ET-4000系列

ET-4000系列

  • 廠牌：Kosaka Laboratory (日本)
  • 型號：ET4000A
  • 簡介：
  • 高精度、安定性，高性能接觸式膜厚機
  • 適用FPD基板，晶圓級硬碟片等細微形狀、段差量測
  • 直動式檢出器，避免圓弧誤差與間隙問題
  • 可程式化執行自動量測
  • 長距離真直度保證
  • 再現性 1σ 0.3nm以内
  • 可擴充三Ｄ量測
  • 可擴充In Line量測
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ET-4000系列