廠牌：RHESCA (日本)| 測試原理 | |
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與一般的刮痕發不同，微刮痕法通過在橫向上施加數十Hz的微振動，可以測量薄膜脫層時產生的微小摩擦力的變化。通過“震動方向的速度信號”和“加載方向的速度信號（已獲專利）”的變化來檢測薄膜的破壞。通過與用於檢測樣品表面垂直方向加速度信號的傳感器配合使用，可以高靈敏度地檢測大約幾十nm的極薄薄膜的破壞。 |
| 特點 |
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➤可對樹脂薄膜及樹脂基材上的薄膜進行測試
➤可測試厚度為10nm的高清保護膜
➤可在加熱環境下進行測試
➤可測試鏡片等曲面上的成膜
➤可以對波形數據和測量標記觀察照片進行聯動分析
➤能測試微小區域的摩擦力和摩擦係數分佈
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| 測試數據【測試例子: DLC(a-C:H)】 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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紅: 施加的載荷 藍: Y軸速度信號 黑: Z軸加速度信號 用R15μm的鑽石觸針，以50μm微振動寬度和200mN/40s加壓條件的測試結果。 |
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| 本體規格 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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