ET-200系列
廠牌:Kosaka Laboratory (日本)
型號:ET200A
簡介:
・經濟型高精度接觸式膜厚機
・適用FPD基板,晶圓級硬碟片等細微形狀、段差量測
・直動式檢出器,避免圓弧誤差與間隙問題
・長距離真直度保證
・再現性 1σ 0.3nm以内
・可擴充三D量測
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