廠牌：Kosaka Laboratory (日本)
型號：ET4000A
簡介：
・高精度、安定性，高性能接觸式膜厚機
・適用FPD基板，晶圓級硬碟片等細微形狀、段差量測
・直動式檢出器，避免圓弧誤差與間隙問題
・可程式化執行自動量測
・長距離真直度保證
・再現性 1σ 0.3nm以内
・可擴充三Ｄ量測
・可擴充In Line量測