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製品項目

光學輪廓/粗度儀(白光干涉儀)

白光干涉儀(電動平台)WLI LAB- AUTO

1.適用於:MEMS,半導體,LCD,LED, Micro lens 生物晶片等微結構表面形狀及粗糙度參數研究

2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,膜厚,平面度,磨耗體積,曲率半徑等微結構表面參數量測.

3.垂直量測精度:0.1nm, 量測範圍: nm10mm

4.可搭配物鏡:x2.5,x5,x10,x20,x50,x100

5.自動量測,並有 stitching功能,擴大量測面積的耦合圖形觀察

6.X-Y電動量測平台:50-300mm或 客製尺寸

 

     

磨耗體積計算功能

 植牙螺絲曲率計算  2D粗糙度計

NEWS
  • 2019 Shimadzu 新型萬能材料試驗機AGX-V 發表會 10月2日
  • 2019 SEMICON Taiwan 國際半導體展 -- 攤位 J2846
  • 3D 非接觸式量測服務