德國
日本
萬用微奈米機械性質試驗機
應用：Nanoindenter, Scratch,Tensile
Compression, Fatigue, Tribology
主機可同時量測垂直與橫向力量及位移
接觸式膜厚測定儀
應用: MEMS,WAFER,FPD,TFT-LCD,
BUMP,COLOR FILTER…測定細微表面形狀,段差,平面度,粗度,應力分析等.
Model:UNAT
Model:ET-4000 Series
德國
|
|
瑞士 |
白光干涉儀/光學非接觸量測
晶片厚度量測儀
應用：表面2D/3D輪廓, 粗度, 膜厚, 平面度, 摩耗體積量測
整合多功能手提式原子力顯微鏡
應用：半導體製程量測,
奈米材料,或原件檢測,
生物分子表面形狀輪廓量測
Model:WLI(X-Y電動平台)
Model: Mobile S (All-In-One AFM)