1. 雷射自動矩焦感測器( Auto-Focus Laser Sensor)
　

　
MODEL : AF-200

1.適用於非接觸，3D形狀及粗度量測

2.量測範圍：最大可到2000um

3.解析度：0.1um ~ 1nm依範圍不同

4.量測點直徑：1um

5.可配合大型量測機台使用

2. 白光微分干涉儀(White Light Interferometer)
　

　
MODEL : WLI

1.適用於：MEMS，半導體，LCD，生物晶片等微結構表面形狀參數研究

2.測試項目：2D/3D表面輪廓，粗糙度，膜厚高度，平面度，弧度等微結構表面參數量測

3.全自動量測，並有stitching功能，擴大量測面積的耦合圖形觀察

4.垂直精度≧1nm(50倍物鏡使用時)

5.可搭載不同倍率的物鏡量測

　

3. 共軛焦顯微鏡(Confocal Microscope)

　
MODEL：ACM600

1.適用於：半導體，材料，MEMS，LCD，生物晶片等表面結構量測

2.特點：採用特殊設計的掃描盤，即便在暗淡的被測物表面，仍可以快速量測

3.測試項目：2D/3D表面輪廓參數，金相量測，FFT，ACF，斜度及波度分佈狀態等

4.全自動量測，並有stitching功能，擴大量測面積的耦合圖形觀察

5.垂直精度≦5nm(50倍物鏡使用時)

6.可搭載不同倍率的物鏡量測

　

4. 晶片厚度量測儀(Thickness meter of Si Membrance)

　
Model: TRIRCI

1.採用最新紅外線量測技術

2.晶圓厚度可從：200nm ~ 600nm

3.適用MEMS，半導體，透明材料膜厚量測

4.膜厚量測解析＜0.01um

5.全自動量測使用

5. 汽缸形貌光學量測儀(Optical Cylinder Profilometer)
　

　
Model:WLICyl
　

1.可量測汽缸表面粗度，塗層缺陷，表面輪廓

2.側面鏡可量測汽缸內壁表面輪廓狀況

3.量測參數可根據汽缸半徑設定

4.垂直/水平解析度：1nm

5.可架設在實驗室或生產線上

6. 活塞壁掃描儀( Piston Wall Scanner)
　

　
Model: PistonScan

1.非接觸自動量測活塞壁表面形狀

2.試片電動旋轉

3.可檢測活塞壁的表面缺陷，下沈調，空隙，腐蝕點等

4.量測直徑：80 ~ 130mm

5.最大掃描長度：210mm

7. 汽缸內壁形貌掃描儀( Cylinder Wall Scanner)
　

　
Model:CylScan
　

1.利用集成照明的光電掃描板來進行掃描及檢測

2.適用於汽缸內壁的表面檢查及汽缸內壁各種參數分析

3.可檢測磨光區域，例：拋點點，刮痕，縮孔，焦化點，腐蝕斑痕等

4.可量測注缸直徑：72 ~ 142mm

5.最大徑向/橫向解析：D/30，20um

8. 軸表面旋線量測系統( Lead Measurement System)
　

　
Model: LMT

1.可量測軸的旋轉線及邊緣線條

2.可以辦別平旋，無旋，斜旋，環形波紋

3.測定旋轉線參數：旋線角度，旋距，週期長度，深度等

4.自動化計算旋轉線參數

5.可選擇粗糙度參數，主軸長度的計算/顯示

 

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